Herzlich willkommen im metadaten.community-Forum, @jochen_walter !
Diese Frage kann ich dir leider nicht beantworten, weil ich keine Erfahrung in der Webarchivierung habe. Allerdings haben wir in lobid-resources mal recht umfangreiche Provenienzdaten ergänzt, die strukturiert beschreiben, dass die RDF/JSON-LD-Metadaten einer Ressource auf einem MARC-Datensatz im Verbundkatalog basieren, der zu einem bestimmten Zeitpunkt mit einer bestimmten Softwareanwendung transformiert wurde. Dabei hat uns die PROV-O: The PROV Ontology gute Dienste geleistet. Solltest du dich also zu einer Umsetzung entscheiden, dann kann ich dazu gerne unsere Erfahrungen teilen.
Ansonsten gibt es ja auch schon das Thema Metadatenstandards für Webarchivierung, hast du das gesehen? Die technischen Provenienzdaten spielen da aber bisher keine Rolle, wenn ich das richtig sehe. @Tracy_Arndt und/oder @natanael können da aber sicher mehr zu sagen.